中華人民共和國國家標準

電子工程防靜電設計規(guī)范

Codefordesignofprotectionofelectrostaticdischargeinelectronicengineering

GB50611-2010

主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部

批準部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

施行日期：2011年2月1日

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告

第672號

關于發(fā)布國家標準《電子工程防靜電設計規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準《電子工程防靜電設計規(guī)范》為國家標準，編號為GB50611-2010，自2011年2月1日起實施。其中，第9.0.4(2、4)條(款)為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

二〇一〇年七月十五日

前言

本規(guī)范是根據(jù)原建設部《關于印發(fā)<2005年工程建設標準規(guī)范制訂、修訂計劃(第二批)>的通知》(建標函〔2005〕124號)的要求，由上海電子工程設計研究院有限公司會同中國電子工程設計院、信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院有限公司等單位共同編制而成。

本規(guī)范在編制過程中，編制組遵照國家有關基本建設的方針政策和“以人為本”、“安全第一、預防為主”的指導方針，在總結多年來國內(nèi)的實踐經(jīng)驗，吸收近年來的科研成果，借鑒符合我國國情的國際先進標準的基礎上，廣泛征求國內(nèi)有關設計、生產(chǎn)、研究等單位的意見，并反復修改，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分9章和1個附錄，主要內(nèi)容包括：總則，術語，防靜電材料及制品的基本要求和設計選擇，防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設計，防靜電工作區(qū)電氣設計，防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設計，防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設計，防靜電安全工作臺的設計選擇，離子化靜電消除器的設計選擇等。

本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責日常管理，由上海電子工程設計研究院有限公司負責具體技術內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，請各單位結合工程實踐，認真總結經(jīng)驗，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補充之處，請將意見和建議寄至上海電子工程設計研究院有限公司《電子工程防靜電設計規(guī)范》管理組(地址：上海市麗園路478號，郵政編碼：200023，E-mail：seedri@seedri.com.cn)，以供今后修訂時參考。

以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司http://m.chd77.cn/進行整理編輯

1總則

1.0.1為適應電子工程室內(nèi)防靜電設計的要求，規(guī)范電子工業(yè)建設工程防靜電工作區(qū)的設計、治理的措施和實施方法，制定本規(guī)范。

1.0.2本規(guī)范適用于電子工業(yè)領域的新建、擴建和改建工程中室內(nèi)防靜電設計。

1.0.3防靜電工作區(qū)設計應遵循下列原則：

1應根據(jù)工藝配置的技術要求，預估工作區(qū)靜電控制的期望目標，確定靜電電位控制的目標值。

2應根據(jù)防靜電工作區(qū)構成因素和不同的防靜電工作區(qū)使用要求，選擇經(jīng)濟和有效的設計方案。

3應根據(jù)防靜電工作區(qū)質(zhì)量控制要素，采取對應的預防措施，進行系統(tǒng)綜合設計。

1.0.4防靜電工作區(qū)設計應選用靜電耗散型或導靜電型材料，并應建立可靠的靜電接地系統(tǒng)，同時應控制環(huán)境溫濕度。

1.0.5防靜電工作區(qū)設計標準應分為三級，一級標準應為室內(nèi)控制靜電電位絕對值不大于100V;二級標準應為室內(nèi)控制靜電電位絕對值不大于200V;三級標準應為室內(nèi)控制靜電電位絕對值不大于1000V。

防靜電工作區(qū)設計分級標準適用場所可按本規(guī)范附錄A確定。

1.0.6電子工業(yè)領域的防靜電設計除應符合本規(guī)范外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。

2術語

2.0.1靜電electrostatic

一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)但不是靜止不動的電荷，由它所引起的磁場效應較之電場效應可以忽略不計。可由物質(zhì)的接觸與分離、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生。

2.0.2靜電放電(ESD)electrostaticdischarge

當帶靜電物體表面的場強超過周圍介質(zhì)的絕緣擊穿場強時，因介質(zhì)電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。

2.0.3靜電危害electrostaticharm

因靜電放電產(chǎn)生的電磁輻射或靜電感應而對電子元器件及儀器產(chǎn)生的有害影響。

2.0.4電暈放電coronadischarge

發(fā)生電場不均勻的，場強較高的電離放電現(xiàn)象，并伴有藍紫色熒光。

2.0.5室內(nèi)靜電電位innerelectrostaticpotential

在設定的區(qū)域環(huán)境內(nèi)，任一物體對地的靜電電位差。

2.0.6靜電放電敏感(ESDS)electrostaticdischargesensitive

產(chǎn)品性能受靜電放電影響或損壞的敏感性，簡稱靜電敏感。

2.0.7靜電噪聲electrostaticnoise

由于靜電放電產(chǎn)生的電磁波輻射對電子裝置、通信設施等產(chǎn)生的電磁干擾。

2.0.8防靜電工作區(qū)(EPA)electrostaticdischargeprotectedarea

配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界、適于從事靜電防護操作的特定工作環(huán)境。

2.0.9防靜電工作區(qū)質(zhì)量控制要素qualitycontrolelementsinelectrostaticdischargeprotectedarea

決定室內(nèi)靜電電位控制效果的主要環(huán)境因素。包括材料和構造形式、氣候和環(huán)境條件、接地、器材和器具的靜電性能、工藝流程、技術管理制度等。

2.0.10靜電感應electrostaticinduction

在靜電場影響下引起物體上的電荷重新分布的現(xiàn)象。

2.0.11靜電泄漏electrostaticleakage

帶電體上的電荷通過其內(nèi)部或表面等途徑使之部分或全部消失的現(xiàn)象。亦稱靜電泄放。

2.0.12屏蔽shielding

把帶電體或非帶電體置于接地的封閉或近乎封閉的金屬外殼或金屬柵網(wǎng)內(nèi)，限制靜電場穿過的措施。

2.0.13表面電阻surfaceresistance

在與材料同一表面上相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極間施加的直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

2.0.14體積電阻volumeresistance

在材料相對兩表面上放置的兩個規(guī)定形狀的電極間施加的直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

2.0.15表面電阻率surfaceresistivity

沿試樣表面電流方向的直流電場強度與單位長度的表面?zhèn)鲗щ娏骶€密度之比。

2.0.16體積電阻率volumeresistivity

沿試樣體積電流方向的直流電場強度與該處的電流面密度之比。

2.0.17對地電阻resistancetoearth

在被測物體表面一點對接地連接點或防靜電接地裝置之間的電阻。

2.0.18靜電半衰期electrostatichalf-life

外界作用撤除后，帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初始值的一半時所需的時間。

2.0.19靜電衰減期electrostaticdecaytime

外界作用撤除后，帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初始值的10%時所需的時間。

2.0.20摩擦起電電壓triboelectricvoltage

用摩擦方法使物體帶電的表面對地電位差。

2.0.21接地grounding

電氣連接到能供給或接受大量電荷的大地、艦船或運載工具外殼等物體的措施。

2.0.22靜電接地electrostaticgrounding

將金屬導體通過接地極與大地進行電氣上的連接，將靜電電荷安全傳導到地的措施。

2.0.23間接接地indirectgrounding

為使非金屬物體進行靜電接地，將其表面的全部或局部與接地的金屬體緊密接觸的一種接地方式。

2.0.24軟接地softgrounding

通過足夠阻抗接地，把電流限制在5mA的人身安全電流以下。

2.0.25靜電放電接地系統(tǒng)ESDgroundingsystem

使靜電泄放到大地而配置的接地線分支系統(tǒng)。亦稱ESD接地系統(tǒng)、防靜電接地系統(tǒng)。

2.0.26接地連接點earthbondingpoint

接地對象上的一個專用點，此點應被一根接地引線引接到接地線配置系統(tǒng)。

2.0.27防靜電接地電阻electrostaticgroundingresistance

從防靜電對象接地連接點至接地體，包括接地支線、接地干線和接地體電阻的總和。

2.0.28防靜電安全工作臺antistaticcontrolworktable

供靜電敏感元器件、組件及設備操作的具有靜電泄放功能的安全工作臺架。

2.0.29靜電中和electrostaticdissipation

帶電體上的電荷與其內(nèi)部或外部異性電荷的結合而使所帶靜電電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。

2.0.30離子化靜電消除器ionizingstaticeliminator

利用空氣電離產(chǎn)生為中和帶電體上的表面異性電荷所必需的正負離子的靜電消除裝置的統(tǒng)稱。

3防靜電材料及制品的基本要求和設計選擇

3.1防靜電材料及制品的基本要求

3.1.1防靜電工作區(qū)采用的防靜電工程材料應符合下列規(guī)定：

1靜電屏蔽材料應采用表面電阻或體積電阻小于1.0×103Ω的材料。

2導靜電材料應采用表面電阻或體積電阻為2.5×104Ω～1.0×106Ω(不含1.0×106Ω)的材料。

3靜電耗散材料應采用表面電阻或體積電阻為1.0×106Ω～1.0×109Ω的材料。

4低起電材料應采用其表面上滾動摩擦后的帶電電壓絕對值不大于2000V的材料。

5絕緣材料應采用表面電阻或體積電阻大于1.0×1012Ω的材料。絕緣材料在防靜電工程中不得作為飾面材料應用。

3.1.2由幾部分材料組合的防靜電制品，其內(nèi)部構造應具有導靜電泄放的功能。其防靜電性能應由制品的表面電阻、對地電阻和摩擦起電電位等參數(shù)確定。

3.1.3防靜電材料應有長效型和短效型的區(qū)別。長效型防靜電材料其防靜電性能應與材料壽命同步，在使用期限內(nèi)防靜電性能應保持穩(wěn)定。

3.1.4防靜電材料及制品的其他各項性能尚應符合國家和行業(yè)現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。

3.2防靜電材料及制品的設計選擇

3.2.1室內(nèi)防靜電工作區(qū)應根據(jù)設計分級，選用不同性能的防靜電材料及制品，并應符合下列規(guī)定：

1一級防靜電工作區(qū)的地面和墻面、柱面應選用導靜電材料。導靜電型地面、墻面、柱面應滿足下列技術指標：

(1)表面電阻、對地電阻應為2.5×104Ω～1.0×106Ω;

(2)摩擦起電電壓絕對值不應大于100V;

3)靜電半衰期不應大于0.1s。

2二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚和門表面、軟簾應選用靜電耗散材料。靜電耗散型地面、墻面、柱面、頂棚和門表面應滿足下列技術指標：

(1)表面電阻、對地電阻應為1.0×106Ω～1.0×109Ω;

(2)摩擦起電電壓絕對值不應大于200V;

(3)靜電半衰期不應大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓絕對值可不大于300V。

3三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面視工藝技術要求可選用靜電耗散材料或低起電材料。頂棚和門表面等可選用低起電材料。選用靜電耗散材料的地面、墻面和柱面，應滿足本條第2款的技術指標;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚和門表面等，應滿足摩擦起電電壓絕對值不大于1000V的要求。

3.2.2防靜電工作區(qū)室內(nèi)設計不得選用短效型防靜電材料及制品。

4防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設計

4.1地面設計

4.1.1室內(nèi)防靜電地面設計應符合下列規(guī)定：

1應根據(jù)不同的基礎條件及防靜電目標合理選擇地面種類，可選用貼面地面、活動地板、涂覆自流平地面、水磨石地面及移動式地墊等。

2應具有長效和穩(wěn)定的導靜電性能。

3應具有可靠的靜電泄放接地系統(tǒng)。地面導電層接地引出點不應少于2處，且相鄰間距不應大于25m。

4.1.2貼面地面應符合下列規(guī)定：

1應合理選擇貼面地面的材質(zhì)和形式。可選用塑料貼面(塊、磚、卷材)、陶瓷地磚、大理石板等。

2貼面地面的結構宜由基礎地坪、底涂、導電層、面層組成。

3貼面地面的結構應符合下列規(guī)定：

(1)基礎地坪應滿足含水率不大于8%，混凝土強度等級不小于C30，表面平整度不大于2mm的要求;

(2)底涂宜滿足封底、粘結橋、絕緣隔離層的要求;

(3)導電層應鋪設接地金屬箔帶網(wǎng)格，并用導電粘膠與上鋪面層粘結，導電粘膠的電阻值應小于面層材料的電阻值;

(4)面層應符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

4接地金屬箔帶網(wǎng)格宜選用寬10mm～20mm、厚0.03mm～0.10mm的紫銅箔帶，網(wǎng)格大小可為600mm×600mm，當貼面地面為卷材時，網(wǎng)格可為1200mm×1200mm;網(wǎng)格引出銅箔帶應與室內(nèi)接地干線焊接;網(wǎng)格交叉點應錫焊或用導電粘結劑粘結。

4.1.3活動地板應符合下列規(guī)定：

1應合理選擇活動地板的材質(zhì)和支撐方式。活動地板按支撐方式可分為四周支撐式活動地板和四角支撐式活動地板。四周支撐式活動地板可由地板、可調(diào)支撐、橫梁、緩沖墊等組成;四角支撐式活動地板可由地板、可調(diào)支撐和緩沖墊等組成。

2活動地板的防靜電貼面板應選用導靜電型、靜電耗散型材料，其性能要求應符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

3活動地板及其配件的材質(zhì)和技術性能指標應符合現(xiàn)行行業(yè)標準《防靜電活動地板通用規(guī)范》SJ/T10796的有關規(guī)定。

4活動地板支撐的底部宜設絕緣襯墊。接地連接導線(接地支線)應采用截面積不小于1.5mm2的多股塑銅線。

5室內(nèi)接地干線在活動地板下敷設時，應與地面絕緣。

4.1.4樹脂涂層自流平地面應符合下列規(guī)定：

1樹脂涂層自流平地面結構應由基礎地坪、底涂層、找平層、導電層和面層組成。樹脂涂層自流平地面厚度應為底涂層、找平層、導電層和面層厚度的總和，樹脂涂層自流平地面厚度不應小于2mm。

2樹脂涂層自流平地面結構應符合下列規(guī)定：

(1)基礎地坪、底涂層、導電層應符合本規(guī)范第4.1.2條第3款的規(guī)定;

(2)找平層應符合補充底涂的封底、粘結橋、緩沖找平的要求;

(3)面層應采用符合導靜電或靜電耗散性能的樹脂面層涂料，厚度不宜小于0.8mm。

3導電層接地金屬箔帶網(wǎng)格要求應符合本規(guī)范第4.1.2條第4款的規(guī)定。

4樹脂涂層自流平地面各層結構的凝膠材料應為同一性能的樹脂涂料，涂料的耐磨性、附著強度和涂膜硬度尚應符合現(xiàn)行行業(yè)標準《防靜電地坪涂料通用規(guī)范》SJ/T11294的有關規(guī)定。

4.1.5水磨石地面應符合下列規(guī)定：

1水磨石地面應由防靜電水磨石面層、導靜電泄放層和絕緣隔離層組成。

2防靜電水磨石地面面層的厚度宜為12mm～18mm。面層的石粒應采用粒徑4mm～10mm的大理石、白云石或其他石料。拌和時不得混入金屬雜質(zhì)。面層的水泥拌和料宜摻加一定比例的導電料，水泥強度等級不應小于32.5。水泥和石粒的體積比宜采用1：1.5～1：2.5。

3水磨石地面的導靜電泄放層應采用

的鋼筋網(wǎng)，網(wǎng)格的間距宜為2m×2m，并應在網(wǎng)格交叉點陰角處焊接。網(wǎng)格的分布應與水磨石面層的分格條位置錯開，并應與防靜電接地系統(tǒng)連接。

4水磨石地面的底涂絕緣隔離層宜采用環(huán)氧樹脂涂料底漆滿涂兩遍，厚度不宜小于0.1mm。

5水磨石面層磨光后可采用防靜電液體地板蠟罩面。

4.1.6移動式地墊應符合下列規(guī)定：

1移動式地墊可選用防靜電塑膠地墊和防靜電地毯。

2防靜電塑膠地墊可為三層結構，底層應為導電橡膠材料，中間是布，面層應為靜電耗散型塑膠材料。防靜電塑膠地墊下應敷設接地金屬網(wǎng)，并應可靠接地。防靜電工作區(qū)內(nèi)防靜電塑膠地墊面層應選用長效型防靜電材料。

3防靜電地毯宜為三層結構，底層應為靜電耗散型基材，中間應為導電膠，上層應為由導電纖維編織或植絨的靜電耗散型材料。防靜電地毯下應敷設接地金屬網(wǎng)，并應可靠接地。

4.2頂棚和墻面設計

4.2.1頂棚和墻、柱面裝飾有導電層要求時，應制訂合理的導電層方案，并應采用十字形構造銅箔或設置多點間接接地的接點;當頂棚和墻、柱面裝飾設置基層骨架時應選用金屬材料，金屬骨架應接地。接地連接點的設置每個房間不應少于4處，相鄰連接點之間距離不應大于18m。

4.2.2頂棚和墻、柱面裝飾的罩面板應選用導靜電型、靜電耗散型材料，其性能要求應符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

4.2.3一級防靜電工作區(qū)的墻、柱面應設置導電層;二級防靜電工作區(qū)的墻、柱面不設置導電層時，應涂刷防靜電涂層或裝飾靜電耗散層，其性能應符合靜電耗散材料的指標要求。

4.2.4空氣潔凈度5級以上潔凈環(huán)境或嚴格限制靜電吸附場所的頂棚和墻、柱罩面層的靜電耗散指標，應根據(jù)工藝要求和試驗確定。使用導靜電無機板材時，表面不應另覆涂層;表層使用金屬面板時，應具有靜電耗散性能的防靜電面層。

4.2.5一般抹灰墻面或使用水性涂料、天然或人造石材作為表層時，應涂刷具有靜電耗散性能的涂層或做其他防靜電處理;當場所的環(huán)境濕度能穩(wěn)定保持在45%～65%時，可不做防靜電處理。

4.3門窗和其他裝修設計

4.3.1防靜電工作區(qū)的門窗設計應符合下列規(guī)定：

1一、二級防靜電工作區(qū)應選用靜電耗散材料制作門或采用靜電耗散材料貼面。三級防靜電工作區(qū)可選用低起電材料。

2金屬門窗表面應涂刷具有靜電耗散性能的涂層，并應接地。選用靜電耗散材料貼面的門及窗的外框應有導靜電泄放的接地連接。

3二級防靜電工作區(qū)的建筑外層有采光窗時，應設計為雙層，其內(nèi)層窗應符合本條第1、2款的規(guī)定。

4門窗與墻體周邊應選用具有靜電耗散性能的彈性密封材料填嵌。

5一、二級防靜電工作區(qū)室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其內(nèi)表面應粘貼具有靜電耗散性能的透明薄膜，或采用透明的防靜電塑料板和具有防靜電性能的玻璃板。

4.3.2防靜電工作區(qū)的其他裝修設計應符合下列規(guī)定：

1各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能。嚴禁使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣材料。不宜使用強吸濕性材料。

2各類裝修設計的飾面應平整簡潔，不宜過于復雜。

5防靜電工作區(qū)電氣設計

5.0.1防靜電工作區(qū)中供電電源質(zhì)量分級應按工藝要求執(zhí)行。

5.0.2防靜電工作區(qū)中電子設備宜由變電所或低壓總配電間的專用回路供電，各種專用電源設備應靠近由其供電的電子設備。

5.0.3防靜電工作區(qū)供配電系統(tǒng)設計宜根據(jù)供電電網(wǎng)的電源質(zhì)量，以及系統(tǒng)內(nèi)可能產(chǎn)生的瞬變干擾和脈沖干擾，采取相應抑制諧波干擾的措施。

5.0.4防靜電工作區(qū)電源進線浪涌保護器的設置，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術規(guī)范》GB50343的有關規(guī)定。

5.0.5低壓配電系統(tǒng)中的單相負荷應均勻分配在三相線路上，應使三相負荷不平衡度小于20%，并應根據(jù)負荷實際運行情況可能產(chǎn)生的諧波電流值，選擇放大中性線的導線截面積。

5.0.6防靜電工作區(qū)中電子設備和設施的電源線、接地干線、信號線和通訊線應分別敷設。電源線宜遠離信號線和通訊線，當不可避免時，應采取相應的屏蔽措施。電子設備和設施的工作電源插座和普通電器插座應分別設置，并應有明顯區(qū)別標志。

5.0.7防靜電工作區(qū)中電氣設備外殼應可靠接地，電氣設備對電磁兼容性的要求尚應符合現(xiàn)行國家標準《電磁兼容試驗和測量技術靜電放電抗擾度試驗》GB/T17626.2的有關規(guī)定。

6防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設計

6.0.1防靜電工作區(qū)應設置防靜電接地系統(tǒng)。

6.0.2防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應由接地體、接地干線、接地支線、接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)組成。

6.0.3防靜電工作區(qū)中由TN交流配電系統(tǒng)供電時應采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)的接地方式。

6.0.4防靜電工作區(qū)中應含有不同功能要求的接地系統(tǒng)，各接地系統(tǒng)的設計都應符合等電位連接的要求，不同接地系統(tǒng)在接入等電位端子前不應混接。

6.0.5防靜電接地宜選擇聯(lián)合接地方式。當選擇單獨接地方式時，接地電阻值不應大于10Ω，并應與防雷接地裝置保持20m以上的間距。

6.0.6防靜電工作區(qū)中整個接地系統(tǒng)的設計應以防雷接地系統(tǒng)設計為基礎。防雷接地系統(tǒng)設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB50057和《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術規(guī)范》GB50343的有關規(guī)定，特定行業(yè)、特定地面及設施的防雷接地尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。

6.0.7防靜電工作區(qū)頂棚、墻面、地面的防靜電接地、人體防靜電接地、操作裝置和儀器的防靜電接地，應分別選擇適當位置設置接地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應保證電氣連接可靠。在防靜電工作區(qū)內(nèi)應設置防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環(huán)。防靜電接地引線應從防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地，接地引線應使用多股銅線，導線截面積不應小于1.5mm2。

6.0.8防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應設置總等電位接地端子板、樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板。從總等電位接地端子板或樓層等電位接地端子板上引出的接地主干線，其截面積不應小于95mm2，并應使用絕緣屏蔽電纜或采用絕緣導線穿金屬管敷設。接地主干線引到防靜電工作區(qū)時應與設置在該區(qū)域內(nèi)的防靜電接地端子板連接。防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值不應大于0.1Ω。

6.0.9防靜電接地主干電纜應避免與非屏蔽電源電纜長距離平行敷設，并應遠離防雷引下線。防靜電接地主干電纜的屏蔽金屬層應兩端接地。

6.0.10防靜電接地連接應采用焊接或用連接器具連接的方式，連接器具應能與接地對象可靠地連接。當接地對象采取間接接地時，應在接地對象上裝設緊密結合的可靠的金屬導體，并應在金屬導體上引出接地導線。金屬導體的緊密結合面積不應小于20cm2。

6.0.11防靜電工作區(qū)中不得有對地絕緣的孤立導體，所有金屬結構件都應可靠接地。當兩個以上的金屬結構件相互絕緣時，應將各自的金屬結構件進行接地，或在其相互之間連接跨接線，并應接地。

6.0.12易燃、易爆特定環(huán)境的接地尚應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。

7防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設計

7.0.1防靜電工作區(qū)宜設置空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

7.0.2當防靜電工作區(qū)和其他房間空調(diào)參數(shù)不同時，宜分別設置空調(diào)系統(tǒng)。

7.0.3防靜電工作區(qū)的溫度及波動范圍應滿足工藝要求，宜為18℃～28℃。

7.0.4防靜電工作區(qū)的相對濕度及波動范圍應滿足工藝要求，宜為45%～65%。

7.0.5防靜電工作區(qū)的氣流組織形式應根據(jù)潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和生產(chǎn)工藝特點的不同要求確定。

7.0.6防靜電工作區(qū)中空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的送、回風口和風管以及各種工業(yè)管道的輸出、輸入口裝置，應選用導電材料制作，或表面涂刷防靜電涂層，也可按工藝要求進行防靜電處理。送、回風口和各種輸出、輸入口裝置與配管系統(tǒng)之間應有可靠的電氣連接，并應接地。

7.0.7防靜電工作區(qū)中空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風管和各種工業(yè)管道均應采取接地措施，接地連接點之間的距離不應大于30m，接地連接點的構造應符合設計要求。采用普通的法蘭或螺栓連接，且中間存在非導體隔離時，應采取跨接措施。

7.0.8防靜電工作區(qū)的配管系統(tǒng)中，使用部分絕緣性材質(zhì)的配管時，應在配管表面安裝緊密結合的金屬網(wǎng)，并應將金屬網(wǎng)接地。使用導電性非金屬軟管時，應在軟管上安裝與其緊密結合的接觸面積不小于20cm2的金屬導體，并應用接地引線與金屬導體可靠連接接地。

7.0.9防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)配置離子化靜電消除器時，應符合本規(guī)范第9章的有關規(guī)定。

7.0.10防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的設備對電磁兼容性的要求尚應符合現(xiàn)行國家標準《電磁兼容試驗和測量技術靜電放電抗擾度試驗》GB/T17626.2的有關規(guī)定。

7.0.11易燃、易爆環(huán)境以及各種流動液體或氣體、粉體管道安裝的防靜電措施尚應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。

8防靜電安全工作臺的設計選擇

8.0.1防靜電安全工作臺可用于制造和應用靜電敏感元器件的場所。靜電敏感元器件、組件及設備的操作，應在防靜電安全工作臺上進行。

一、二級防靜電工作區(qū)及有明確防靜電要求的臺式精密電子設備的三級防靜電工作區(qū)，應根據(jù)工藝要求配置防靜電安全工作臺。

防靜電分級為一級的微電子制造和測試場所，防靜電安全工作臺應使用硬質(zhì)臺墊及無表面涂覆的難氧化金屬臺架;除微電子電路制造和測試以外的電子產(chǎn)品或整機產(chǎn)品的生產(chǎn)或調(diào)試場所的防靜電安全工作臺，其臺面可采用軟質(zhì)臺墊，臺架可采用木質(zhì)或金屬。

8.0.2防靜電安全工作臺應由工作臺、防靜電臺面或臺墊、腕帶連接裝置、限流電阻和接地引線組成。

8.0.3防靜電安全工作臺按臺面基材可分為普通型和專用型。專用型防靜電安全工作臺宜用于潔凈室工作站。防靜電安全工作臺臺面的防靜電性能指標應符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

8.0.4硬質(zhì)和軟質(zhì)防靜電臺墊，其表面電阻和體積電阻范圍應為2.5×104Ω～1.0×109Ω。

8.0.5防靜電安全工作臺應設置腕帶連接裝置，防靜電腕帶應便于人體佩戴，并應接地。腕帶連接裝置應布置在工位的左、右兩側。

8.0.6防靜電安全工作臺應接地，腕帶連接裝置的下端應采用截面積不小于1.5mm2多股塑銅線與防靜電接地系統(tǒng)連接。多臺防靜電安全工作臺的接地連線不得串聯(lián)連接。

9離子化靜電消除器的設計選擇

9.0.1一、二級防靜電工作區(qū)配置的設備機臺局部，以及防靜電安全工作臺等對靜電敏感元器件有明確防護要求的場所，應選用離子化靜電消除器。

9.0.2離子化靜電消除器的設計選擇應根據(jù)現(xiàn)場條件和消除靜電的控制目標，并結合靜電消除器的消電效能和綜合性能確定。

9.0.3離子化靜電消除器的離子平衡度、消電時間、臭氧發(fā)生量、噪聲等技術指標應符合國家現(xiàn)行有關產(chǎn)品標準的規(guī)定。

9.0.4離子化靜電消除器的設計選擇應符合下列規(guī)定：

1氣流組織形式為單向流的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，宜選擇脈沖式高壓靜電消除器。

2易燃、易爆環(huán)境應選用自感應式靜電消除器、高頻高壓型靜電消除器，以及具有防爆通風型結構的離子化靜電消除器。

3空氣潔凈度等級5級以上的潔凈環(huán)境，不宜使用有風扇的離子化靜電消除器，其他潔凈環(huán)境的風扇式離子化靜電消除器應具有自清掃功能。

4選用同位素靜電消除器時，應按現(xiàn)行國家標準《電離輻射防護與輻射源安全基本標準》GB18871的有關規(guī)定進行防護設計，并應符合對射線屏蔽、人體防護的要求。

5選用高頻高壓型靜電消除器時，電氣間隙和基本絕緣試驗電壓等限值應符合現(xiàn)行國家標準《測量、控制和實驗室用電氣設備的安全要求第一部分：通用要求》GB4793.1的有關規(guī)定，場感應電流和磁場強度限值應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)、科學和醫(yī)療(ISM)射頻設備電磁騷擾特性限值和測量方法》GB4824的有關規(guī)定。

6選用離子化靜電消除器時，臭氧發(fā)生量的容許濃度值應符合國家現(xiàn)行有關工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值的規(guī)定。

9.0.5離子化靜電消除器外殼應采用金屬材質(zhì)，其外殼及金屬支承體應有可靠的保護接地。

附錄A防靜電工作區(qū)設計分級標準適用場所